液晶设备迎合产品换代

TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示器）已经在FPD（平板显示）行业占据了主流地位，各大厂商为降低成本、提高生产效率，长期以来不断地致力于增大玻璃基板的尺寸，从而带动了生产设备的不断更新。与此同时，环保、节能的理念也逐渐渗透到生产制造的过程之中。在过去10年里，中国大陆建设TFT-LCD产业链的工作已经卓有成效，现在更需要全行业齐心协力，尽力缩小与世界先进水平的差距。

截至今年，“FinetechJapan”FPD研发及制造技术博览会已举办了18届。18年前，第1代TFT-LCD产品刚刚投入量产，如今，第10代生产线已在建设之中。消费类电子产品、个人电脑、笔记本电脑和液晶电视等领域的需求为液晶显示产业提供了广阔的发展空间。

欲善其事先利其器

在平板显示行业，制造设备总是随着产品的更新换代而水涨船高。在本届博览会上，半导体和平板显示业内知名设备制造商TEL（东电电子）展示了该公司于2007年推出的两款新设备：用于7.5代和8代TFT-LCD涂胶/显影的Exceliner系列及用于7.5代和8代TFT-LCD等离子刻蚀/去胶的Impressio系列。与现有的6代涂胶/显影设备相比，Exceliner系列的玻璃基板传送驱动部分体积缩减了70%，玻璃基板的垂直传送距离减少了80%，加工过程中玻璃的破损率也大幅降低。并且，由于设备高度的下降，生产的安全系数也得以提升。Impressio系列则是多腔体的等离子刻蚀/去胶设备，可用于非晶硅的刻蚀、绝缘层的刻蚀、金属层的刻蚀以及干法去胶。该设备最多可提供3个反应腔体，用于进行刻蚀或去胶的操作。当然，TEL显然也没有“忘记”中小尺寸平板显示器，该公司还展示了用于4.5代线的干法刻蚀机——HT系列。该系列的特点是不仅可以用于非晶硅TFT-LCD的加工，而且可以用于LTPS（低温多晶硅）工艺。该设备配置有4个反应腔体，并可由客户选择4种不同的反应模式。

随着TFT-LCD世代的提升，玻璃基板的尺寸不断增大，生产设备也向着大型化、自动化方向发展。如果说玻璃基板尺寸为1100mm×1300mm的5代生产线还可以部分地依靠人力进行物料搬运的话，6代（基板尺寸为1500mm×1800mm）以上的生产线则必须完全依赖智能化的机械设备。目前，夏普的10代线加工的玻璃基板尺寸已经达到2850mm×3050mm，用于传递玻璃基板的机器人就成了整条生产线的重要环节。在本届博览会上，安川电机展示了用于10代TFT-LCD生产线的机器人——MOTOMAN-CDL3000D.该设备采用双悬臂架构，每个悬臂荷载为100kg.设备高度约为5.8m，垂直输送距离为4m，旋转角度为340°，并具备高速、高精度的特征。由于具有优异的性能，在本届博览会中，该设备获得了组委会所评选的ADY奖（显示行业年度奖）。

在平板显示器的生产中，测试设备也是不可或缺的。德国ISRA（伊斯拉视像系统公司）展示了FPD业界用的AOI（自动光学检测）系统，该系统用于TFT-LCD生产的阵列部分、彩色滤光片部分和模组部分，可实时地监控生产过程，不断收集信息并即使地反馈到生产线上，从而提高产品的成品率。

关注环保绿色很“红”

环保和节能的“绿色”主题贯穿了整个展会。

除了索尼、夏普、LG等多家企业的代表分别向公众推荐其“绿色”产品之外，来自我国台湾地区平板显示龙头企业——友达光电的卢勇宏先生还向与会各界人士介绍了生产过程中的环保、节能措施。

通常，人们把环保、节能的主要措施归纳为“3R”，即节约（reduce）、回收（recycle）和重复使用（reuse）。友达光电在这几个方面都有良好的表现。

在“节约”方面，友达光电在工程设计中利用下技术夹层回风并采用FFU（风机过滤单元）来控制生产厂房的温度、湿度和洁净度，大幅度降低了用电量和CO2排放量。以月产10万片46英寸TFT-LCD面板的生产线为例，采用此措施之后每年节省用电120万kWh，CO2排放量减少750吨。此外，在LCD的偏光片贴附工序，友达光电用垂直双面贴附代替了水平单面贴附，使得所需设备数量减少一半，该工序的用水、用电量和所需的厂房面积自然也随之缩减。

在“回收”方面，TFT-LCD生产中所用的光刻胶、显影液、去胶剂、PI（聚酰亚胺）以及液晶材料等都在回收之列，甚至废弃的玻璃基板也可回收之后作建筑装饰之用。

在“重复使用”方面，友达光电利用设备炉体的余热对即将进入炉体的空气进行预热，有效地降低了热量的损失。同样以月产10万片46英寸TFT-LCD面板的生产线为例，采用此措施之后每年节省用电520万kWh，CO2排放量减少3300吨。

友达光电还提出了“‘3+1’R”的概念，在“3R”的基础上增加了“替代（replace）”，即使用更环保、更节能的材料替代原有的材料。例如选用砷、铅含量极低的玻璃基板以及无卤素的材料等。此外，选择更高效的背光源也是一个很有前途的替代方案。

行业协作缩小差距

尽管中国大陆的平板显示产业起步较晚，发展道路也历经坎坷，但各家企业都对本届展会给予了充分的重视，平板显示行业的主要厂家都参与了展会或派代表在展会论坛上发表了演讲。而TFT-LCD产业的新兵上海天马更是携手深圳天马登台亮相，为本届展会的中小尺寸FPD产品增添了一抹亮色。

但总体而言，中国大陆的平板显示产业与日本、韩国和我国台湾地区相比仍有很大的差距。据京东方常务副总裁刘晓东透露，在我国TFT-LCD产业蓬勃发展的2007年，中国大陆液晶面板在个人电脑、笔记本电脑和液晶电视领域的产量分别只占全球总产量的12%、0.16%和0.43%.不过，据与会专家提供的消息，自2007年以来，中国大陆已有多个平板显示项目投入量产或取得重大进展，中国平板显示产业迎来了新一轮建设高潮。

刘晓东常务副总裁则强调了京东方“合作创造价值”的理念，他表示，京东方将继续专注于自己最擅长的领域，通过与产业链上下游各厂商的合作，实现全行业的共赢。的确，企图在一夜之间超越日韩是不现实的，中国大陆企业都应该专注于自己擅长的领域，并在政府支持下重点突破产业链的薄弱环节，才能逐步缩小与日韩的差距，才能真正迎来平板显示产业的春天。

——来源：中国电子报 （本网编辑：栖凤亭）